Influence de la micro-structuration des électrodes sur le fonctionnement des décharges à barrière diélectrique.

Baret-Mayol, Kilian (2023). Influence de la micro-structuration des électrodes sur le fonctionnement des décharges à barrière diélectrique. Mémoire. Québec, Université du Québec, Institut national de la recherche scientifique / Université de Toulouse III - Paul Sabatier, Maîtrise en sciences de l'énergie et des matériaux, 133 p.

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Résumé

Nous avons fabriqué des échantillons de silicium au Laboratoire de Micro et Nanofabrication (LMN) de façon à imposer une rugosité via la gravure de lignes parallèles. Par la suite, au laboratoire Laplace, nous avons placé ces échantillons dans une cellule de décharge et étudié les décharges amorcées en fonction de la fréquence. Nous avons observé une augmentation de la stabilité de la décharge lorsque l’on diminue la profondeur des lignes de gravure. Pour des profondeurs des lignes de gravures supérieures à 50 μm, la différence de gap entre la surface de l’échantillon et le fond des lignes de gravure est trop élevée pour permettre l’amorçage de la décharge sur toute la surface des électrodes. Pour des profondeurs des lignes de gravure de 1 μm et pour une fréquence d’alimentation de 10 Hz, la stabilité est meilleure pour de faibles dimensions de l’ouverture des lignes de gravure.

We fabricated silicon samples at the Laboratoire de Micro et Nanofabrication (LMN), imposing roughness by etching parallel lines. Then, at the Laplace Laboratory, we placed these samples in a discharge cell and studied the discharges initiated as a function of frequency. We observed an increase in discharge stability with decreasing etch line depth. For etch line depths greater than 50 μm, the gap difference between the sample surface and the bottom of the etch lines is too high to allow discharge initiation across the entire electrode surface. For etch line depths of 1 μm and a supply frequency of 10 Hz, stability is better for small etch line opening dimensions.

Type de document:	Thèse Mémoire
Directeur de mémoire/thèse:	Chaker, Mohamed
Co-directeurs de mémoire/thèse:	Bélinger, Antoine; Naudé, Nicolaset Carbone, Émile
Mots-clés libres:	-
Centre:	Centre Énergie Matériaux Télécommunications
Date de dépôt:	06 déc. 2023 20:37
Dernière modification:	06 déc. 2023 20:37
URI:	https://espace.inrs.ca/id/eprint/13783

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