Modélisation de la nucléation dans un plasma de Silane.

Cacot, Laura (2018). Modélisation de la nucléation dans un plasma de Silane. Mémoire. Québec, Maîtrise en sciences de l'énergie et des matériaux, Université du Québec, Institut national de la recherche scientifique, 24 p.

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Type de document:	Thèse Mémoire
Directeur de mémoire/thèse:	Vidal, François
Mots-clés libres:	énergie; matériaux
Centre:	Centre Énergie Matériaux Télécommunications
Date de dépôt:	05 oct. 2023 13:34
Dernière modification:	05 oct. 2023 13:34
URI:	https://espace.inrs.ca/id/eprint/13616

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